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NO. NAME DESCRIPTION
1 건물벽 건물벽
2 Partition 외부와 크린룸내부 단열 및 룸용도에 맞게 구획
3 전실Door 작업자가 크린룸으로 가기전 전실로 출입하는 Door
4 창 크린룸내 작업환경을 크린룸 외부에서 확인
5 특수물품 반입품Door 크린룸내 장비를 반입하기 위한 Door
6 Relief Damper 실내압을 일정하게 유지
7 Pass Box Pass Box는 실이 접하는 벽에 설치되어 물건의 운반에 따르는 오염을 최소화하기 위해 사용
8 Air Shower 사람이나 물건이 Clean Room에 입실시 외부의 오염물질(분진 또는 미생물)이 Cean Room 내에 유입되는 것을 방지
9 Clean Booth 국부적으로 청정공간을 간단히 얻기 위해 사용
10 Clean Bench 크린룸 내에서 국부적으로 안전한 청정환경을 얻기 위해 사용
11 Return Grille Return Air를 흡입
12 Lighting 크린룸 조명
13 Fan Filter Unit 먼지제거 - 청정도 1 & 10 & 100 의 Down Flow 방식
14 Hepa Filter Box 먼지제거 - 청정도 1,000 & 10,000 & 100,000 의 Down Flow 방식
15 Blower Filter Unit 먼지제거 - 저진동, 저소음 FAN을 내장한 장비
16 Air Handling Unit 일정한 공간을 인간이 활동하기에 알맞은 온도 ·습도 ·기류(氣流) 분포로 조절하고, 동시에 공기 속의 먼지 등을 제거
17 Cean Locker Clean Room에 출입하는 작업자의 무진복을 청정상태로 보관하기 위한 장비
18 Supply & Retrn Duct Supply Air & Return Air가 통과하는 관